刘玉岭教授简介刘玉岭教授博士生导师第九届十届全国政协委员国家级有突出贡献的中青年专家任美国电化学会亚洲分会cmp主席纳米电子技术常务理事河北工业大学微电子研究所所长微电子学与固体电子学学科带头人电子科学与技术博士后流动站主任南开大学兼职教授中航集团618研究所特聘技术专家获全国高校天津市科技先进工作者河北高...
赞 分享 科研之友微信新浪微博Facebook分享链接 刘玉岭 河北工业大学, 教授 / 科研之友号:33125483 科研之友人员唯一编号 0 项目 21 成果 230 阅读 0 下载 0 被引 0 H-指数 主页 成果
摘要: 刘玉岭教授,博导,河北工业大学微电子技术与材料研究所所长,国家级有突出贡献的中青年专家,河北工业大学电子科学与技术博士后流动站学术委员会主任,《中国表面工程》杂志理事,纳米电子技术常务理事,第九届,十届全国政协委员.30年来,刘教授在半导体器件和超大规模关键词:...
刘玉岭,男,1942年2月出生,衡水市人,河北工业大学教授、博士生导师。1966年毕业于南开大学。现任河北工业大学微电子技术与材料研究所所长、微电子学与固体电子学河北省重点学科负责人,电子科学与技术一级博士点负责人。是我国化学机械超精密加工领域研究的奠基人、集成电路平坦化工艺与材料领域的领军人。李保国,男,...
862013年第11期总第85期.mrsta.comDOI:10.3772/j.issn.1673-6516.2013.11.031◎文/王燕极大规模集成电路平坦化工艺与材料——河北工业大学刘玉岭教授研究成果随着微电子技术进入65nm及以下技术节点,集成电路布线层数已达10层以上,布线间介质使用LowK介质,每层都必须进行化学机械抛光(CMP),使平整度达到纳米级、粗糙...